Xây dựng hệ thống sản xuất vật liệu bán dẫn với thời gian trễ thấp

Giới thiệu dự án

Việc chế tạo các tấm bán dẫn là quá trình đòi hỏi độ chính xác cao và phải trải qua hơn 300 bước riêng lẻ được phân chia thành các nhóm quá trình chính khác nhau như cản quang, bồi màng, khắc và CMP. Một thiết bị bồi màng hoặc khắc thường gồm rất nhiều thiết bị serial như máy bơm tăng áp chân không, máy phát cao tần và RF matches, tất cả được điều khiển bằng một máy tính nội bộ. Một công ty Nhật Bản chuyên sản xuất thiết bị bồi màng và khắc đang tìm kiếm một giải pháp truyền thông thế hệ mới.

Giải pháp này sẽ cho phép điều khiển từ xa các thiết bị serial bằng một máy tính đặt tại khu điều khiển nhà máy bán dẫn, giúp kiểm soát tốt hơn các thiết bị serial và đạt được độ chính xác cao hơn. Với giải pháp mới này, các nhà sản xuất bán dẫn có thể dễ dàng thu thập các thông số vận hành của thiết bị và cài đặt từ xa quá trình hoạt động của chúng. Hiện nay, hầu hết các nhà máy chế tạo bán dẫn sử dụng truyền thông Ethernet như một phần của trục truyền thông mạng. Vì lý do này, các công ty đã lựa chọn giải pháp serial- to-Ethernet nhằm đáp ứng những yêu cầu sau:

• WinCE driver giúp quản lý các thiết bị trên nền tảng WinCE
• Tải thông số hoạt động và gán công thức xử lý quá trình với thời gian trễ cực thấp (thời gian tính bằng mili giây)
• Thời gian giữa 2 lần lỗi dài (mean time between failures) do thiết bị chỉ cần ngưng kết nối trong một khoảng thời gian rất ngắn cũng có thể gây ra những tổn thất vô cùng lớn.

Giải pháp của Moxa

Bộ chuyển đổi Nport 6650-8 được lựa chọn vì chúng đáp ứng được tất cả những yêu cầu đặt ra cho bài toán này. Mỗi bộ phận của thiết bị bồi màng và khắc được trang bị 2 buồng, vận hành một cách độc lập. Mỗi buồng được trang bị máy bơm tăng áp chân không, máy phát cao tần và RF matches, tất cả đều sử dụng truyền thông RS-232. Trong mỗi thiết bị được gắn 2 thiết bị chuyển đổi RS-232/422/485 sang Ethernet mã Nport 66350-8 giúp kết nối các thiết bị serial vào mạng Ethernet, cho phép điều khiển và giám sát từ xa các thiết bị bằng máy tính. Sử dụng WinCE Real COM driver trên thiết bị Nport 6650-8 để kết  nối các thiết bị tới máy tính từ xa.

Tại sao nên chọn Bộ chuyển đổi serial sang Ethernet Nport 6650-8?

Sản phẩm

Với chế độ Real COM  ready-to-use, chỉ mất một khoảng thời gian để thiết lập kết nối giữa thiết bị serial với máy tính từ xa. Là sản phẩm có thời gian trễ thấp nhất trên thị trường, bộ chuyển đổi RS-232/422/485 sang Ethernet NPort® 6650-8 đảm bảo các thông số và quá trình vận hành được đánh giá một cách chính xác và kịp thời nhằm giảm thiểu sự cố vận hành. Là sản phẩm có thời gian giữa 2 lần lỗi dài nhất trên thị trường, Nport 6650-8 được sử dụng để giảm thiểu thời gian chết và tối đa hóa năng suất.

Nport 6650-8 Bộ chuyển đổi 8 cổng RS-232/422/485 sang Ethernet với tính năng bảo mật cao